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镀膜产品常见不良分析、改善对策——镜片破损

溅射靶材 2020-06-03 10:23

  一般的镀膜会对基片加热,由于基片是装架在金属(铝、铜、不锈钢)圈、碟内,由于镜圈或碟片与镜片(基片)的热膨胀系数不一致,冷却过程中会造成镜片的破边或炸裂。

  有些大镜片,由于出罩时的温度较高,与室温的温差较大,镜片的热应力作用造成镜片炸裂或破边。

  有些零件边缘倒边的形状容易造成卡圈而破边。

  改善对策:

  ①.夹具(镜圈、碟片)的设计,在尺寸配合上要合理,充分考虑制造误差带来的影响。

  ②.注意镜圈、碟片的变形,已经变形的夹具不能使用

  ③.选用合适的夹具材料(非导磁材料、不生锈、耐高温不变形),不锈钢较为理想(热变形系数小),就是加工难度大,价格贵。

  ④.对于大镜片应降低出罩时的温度,减少温差,防止炸裂。

  ⑤.如果是镜圈,可以考虑在镜圈上开槽,作为缓冲。(镜圈的使用寿命会减少很多)

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