制备CIGS薄膜的靶材种类及使用注意事项

　　一、CIGS薄膜的制备方法

　　常用的制作CIGS薄膜的方法有五种，分别是共蒸发法、后硒化法、溅射法、电沉积法和喷涂热解法。目前较成熟的是共蒸发法、溅射法和后硒化法。共蒸发法是采用蒸发镀膜的方式制备CIGS薄膜，我公司可为您提供高纯度的Cu、In、Sn的颗粒，Ga由于熔点较低，难以制备成颗粒，一般以锭状出售。其余两种制备CIGS薄膜的方法，均需要用到靶材。

　　二、制备CIGS薄膜的靶材种类

　　四元合金靶材：铜铟镓硒（CIGS）靶材

　　1、配比：我公司常规CIGS靶材的配比为Cu:In:Ga:Sn=1:0.7:0.3:2at%，为了满足不同科研用户的需要，在技术条件允许的前提下，我们可以接受不同配比的定制。

　　2、制作过程：

　　（1）CVD合成四元合金，高精度分析天平称量，各种元素的配比公差低于百万分之一

　　（2）氮气保护下研磨制粉

　　（3）热压烧结成型，检测成分无误后，打磨抛光出厂。

　　3、检测：我公司对于出厂的CIGS靶材，常采用两种检测方法：TCP-MS和 XRD。通过TCP-MS检测材料中的含量，XRD检测材料的微观结构。正常情况下，我公司的5N的CIGS靶材，杂质元素的总和小于10ppm，并且具有闪锌黄铜矿结构、

　　4、靶材致密度：≥93%

　　5、安全防护措施：我公司可为客户提供MSDS，注意在溅射时采取必要的防护措施。

　　6、靶材使用注意事项：

　　（1）溅射功率：功率不宜太大，功率密度在每平方厘米2W为宜，最高不能超过3W。由于设备的不同，建议您在提升功率时缓慢调节，待靶材起辉后，可以不再提升。

　　（2）提高靶头散热：CIGS靶材本身导热性差，循环水冷机可以更换大水管，以提高靶头水流量，提高散热能力。

　　（3）CIGS靶材长时间使用会出现偏析现象，镓含量会变少。

　　三、二元化合物靶材

　　1、我公司可以提供多种制备CIGS薄膜的二元化合物靶材，如硒化铟（In2Se3）靶材，硒化镓（Ga2Se3）靶材和硒化亚铜（Cu2Se）靶材，尺寸可接受定制。

　　2、制作过程：CVD合成二元化合物———热压烧结成型——检测——打磨，抛光

　　四、除化合物靶材外，我公司还可提供制作CIGS薄膜的合金靶材，如铜镓合金靶材，铜铟合金靶材和铜镓铟合金靶材，以及制作CIGS的各种单质靶材，铜靶，铟靶，硒靶等。

　　五、CIGS配套靶材

　　制作完CIGS薄膜后，为保证CIGS太阳能电池的功用，我公司可为您提供如下靶材：

　　硫化镉（CdS）靶材，硫化锌（ZnS）靶材，硒化锌（ZnSe）靶材

　　氧化锌铝（AZO）靶材，钼（Mo）靶等

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