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金属靶材加工工艺-锻造

溅射靶材 2020-06-03 10:23

  锻造是一种利用锻压机械对金属坯料施加压力,使其产生塑性变形以获得具有一定机械性能、一定形状和尺寸锻件的加工方法,锻压(锻造与冲压)的两大组成部分之一。通过锻造能消除金属在冶炼过程中产生的铸态疏松等缺陷,优化微观组织结构,同时由于保存了完整的金属流线,锻件的机械性能一般优于同样材料的铸件。

  锻造是靶材加工工艺中最为重要的一个步骤。经过锻造的靶材,组织结构紧密,无气孔疏松的缺陷,微观晶粒结构细密。

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