靶材的制备介绍

靶材的制备介绍，帮助大家更多的了解靶材行业的情况。称取适量自制粉体，配制4Vol的聚乙烯醇(PVA)为粘结剂，以无水乙醇为混合剂，进行造粒，然后在80C的干燥箱内稍许烘干，要求粉体保持一定的湿度，具有良好的流动性，然后冷等静压成靶材素胚。将压制好的素胚小心置于刚玉片上，在硅钼高温炉中进行高温烧结，得到复合靶材，取出后进行打磨，清洗。

用扫描电镜(sEM)观察靶材的微观形貌，以电子探针(EPMA)测试薄膜的化学成分，以X射线衍射仪(XRD)分析靶材的相结构]，计算靶材的收缩率，并在射频溅射设备进行溅射测试，检验靶材使用状况，分析制备得到的铁氧体薄膜性能。

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