靶材的种类介绍

靶材种类按其成分可分为：纯金属靶材、合金靶材和化合物靶材。

纯金属靶材：铝靶材、金靶材、银靶材、铬靶材、镍靶材、钽靶材、钛靶材、铜靶材、锡靶材等。

合金靶材：钛铝靶材、钛铬靶材、钛硅靶材、镍铬靶材、镍铜靶材、铬钼靶材、铬钨靶材、铬钒靶材、镍钒靶材、铽铁钴靶材、铟银锑碲靶材等。

化合物靶材：氧化物靶材、硅化物靶材、碳化物靶材、氮化物靶材等。

靶材是对薄膜生长中使用的镀膜材料形象而直观的称呼。溅射靶材在沉积过程中，膜材要受到电子束、离子束或放电离子的轰击，就像被射击的靶子一样，所以通俗的将这类材料叫做靶材。

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