钼靶材和铝靶材的生产工艺

随着科技的发展，溅射靶材在各个行业应用广泛。今天主要为大家介绍钼靶材和铝靶材的生产工艺。

钼靶材工艺：以粉末冶金方法制成靶材坯料为原料；靶材坯料经过机械加工后和无氧铜(OFC)背板在洁净环境下焊接制成基础靶材；基础靶材经超声波无损探伤检测，焊接结合率达到98%以上，再进行精细机械加工，以保证靶材的精度要求，满足靶材电场、磁场、冷却水道等的安装要求；最后将精加工后的靶材送至净化室清洗和封装，去除表面附着的任何无机物及有机物，装入特殊的塑料袋中，以防氧化、污染和潮湿。

铝靶材工艺：首先原料入厂经切断后，进行塑性加工和热处理，以改善其微观组织结构，制成靶材坯料；靶材坯料经过机械加工后和无氧铜(OFC)背板在洁净环境下焊接制成基础靶材；基础靶材经超声波无损探伤检测，焊接结合率达到98%以上，再进行精细机械加工，以保证靶材的精度要求，满足靶材电场、磁场、冷却水道等的安装要求；最后将精加工后的靶材送至净化室清洗和封装，去除表面附着的任何无机物及有机物，装入特殊的塑料袋中，以防氧化、污染和潮湿。

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