孪生磁控溅射靶材信息介绍

一种新的改进型孪生靶与普通的孪生靶TwinMagI相比，改进型孪生靶TwinMagⅡ是将两个绝缘的阴极本身设计成相互倾斜的形式，而且位置靠得很近，如图2所示。同时还在两个磁控阴极之间增加一个气体人口，使得整个靶面的气体分布均匀。靶的宽度也从原来的120mm增加到280mm。因此靶材储存量是原来TwinMagI的两倍，这种较宽的阴极结构有可能进一步改进磁场分布，也就是通过分流或在靠近磁极附近设置强磁性软铁，使其在靶的表面形成平坦的磁力线，其结果密集的等离子体就比较宽，这样就可以获得较高的靶材利用率。试验表明这种改进型的孪生靶TwinMagⅡ的靶材利用率与DC磁控靶和原来的TwinMagI相比可以从25%提高到37%。由于靶材储存量的增加和靶材利用率的提高，新改进的孪生靶的寿命是原.来孪生靶的4倍。

目前，采用中频正弦波电源的TwinMag溅射系统已经在大面积镀膜领域中得到广泛应用。靶的长度可达3750mm，电源的脉冲频率为40kHz，功率为60kW，90kW，120kW，150kW，200kW。

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