靶材名称:钼铌合金溅射靶材批发 钼铌靶材
产地:上海
材 质:Mo、Nb
规格:可根据用户需要定制
晶粒度:<100um
生产工艺:原材料-真空熔炼-锻造-铌锭-轧制-铌板成品。
用途:真空镀膜,超导电,平面显示屏,触摸屏
钼铌合金靶材其特征:
把高纯的钼粉和铌粉在混料机内混合均匀,铌粉和钼粉按照一定比例重量比置于混料机中,在1400~1900℃高温真空煅烧炉内煅烧成钼铌合金,把烧结块用油压机破碎成小块后在玛瑙球磨机中,在氦气保护下研磨。磨球配比为1/3,以公转600的微粉,在真空加压烧结装置中压制成型,压力12~25兆帕,在1450~2020℃压30~90分钟,得到靶材坯。在磨床上修整得到成品靶材。本发明的方法工艺流程简单,易于实现工业化生产。无污染,制备过程不会产生任何废料、废酸等污染物。
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